BX51-IR型近红外显微镜

MX63L-IR型近红外显微镜（12”晶圆检查专用显微镜）

红外物镜

LMPLN5XIR	LMPLN10XIR	LCPLN20XIR	LCPLN50XIR	LCPLN100XIR注意

倍数	数值孔径	工作距离（mm）	硅片厚度	分辨率（μm）
5X	0.1	23	——	5.50
10X	0.3	18	——	1.83
20X	0.45	8.3	0-1.2	1.22
50X	0.65	4.5	0-1.2	0.85
100X	0.85	1.2	0-1	0.65

注：分辨率在1100nm波长下计算

新旧红外物镜性能对比

LMPL20XIR（旧型号）	LCPLN20XIR（新型号）	LMPL50XIR（旧型号）
LCPLN50XIR（新型号）	LMPL100XIR（旧型号）	LCPLN100XIR（新型号）

红外显微镜的应用

– Vcsel芯片隐裂（cracks）、InGaAs瑕疵红外无损检测

– 法拉第激光隔离器,Faraday Isolator近红外无损检测

– die chip 失效分析

– 红外透射Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

– 硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底无损红外检测

– 太阳能电池组件综合缺陷红外检测

Vcsel芯片隐裂（cracks）

法拉第激光隔离器胶合偏振片无损检验

die chip 失效分析

红外Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底 缺陷无损红外检测

太阳能电池组件综合缺陷红外检测