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HTM系列测量显微镜满足不同种类的测量范围检测，测量数据准确，操作简单，更多详情如下
产品详情
●操作便捷
集中化显微镜操作，调焦手轮、速度控制、遥控开关均可实现单手盲操作，实现大试样高精度快速测量。
●电动Z轴调焦
使用电动调焦装置可以大幅提高操作性，并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。
●稳固的机械机构
充分考虑工业现场环境的结构设计，内置减震机构，保证了高水平的重复性精度。
●高度灵活
模块化的硬件、功能强大的软件方案，自由搭配成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转盘等。
●高密度拼接
使用高密度拼接功能、多幅图像可以拼接扩展为一幅大视野全景图像
◆电动Z轴移动机构通过使用专用的控制器简化了的垂直移动操作。
◆新款石家庄测量显微镜可配备一个新型辅助对焦机构，以提供更清晰和更的对焦。相比以前型号，高精度Z轴测量更简便。
◆得益于各种电动控制以及人体工程学设计，极大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的载物台，操作起来也十分得心应手。
◆使用数码相机和 M- Inspect 测量软件进行数字图像拍摄可通过的自动边缘检测进行快速测量。
◆X、Y和Z轴的较小单位可以在 0.1 μm和0.5μm之间切换，此外，还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。
HTM系列石家庄测量显微镜配置参数
型号 |
HTM150D |
HTM200D |
HTM300D |
HTM400D |
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图像 |
正像/反像 |
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观察方法 |
明场、暗场、偏光、微分干涉观察 |
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目镜 |
屈光度可调10X（视场数：22mm) |
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物镜 |
平场消色差/平场半复消色差系列镜头 |
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调焦系统 |
更大被测物高度 |
200mm |
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电动调焦参数 |
微调：50μm、100μm、400μm/圈可选 点动：100μm /步 粗调：10mm/秒 |
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调焦精度 |
较小步距 |
0.1μm |
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测量重复性 |
±1μm |
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照明装置 |
透射照明 |
远心照明、无级亮度可调、5W LED光源 |
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反射照明 |
科勒照明、可调孔径光阑、无级亮度可调、5W LED光源 |
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辅助照明 |
FA辅助聚焦、LED环型光源、光纤冷光源 |
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载物台 |
测量范围 |
200*150mm |
300*200mm |
300*300mm |
400*300mm |
金属台尺寸 |
400*280mm |
500*350mm |
500*450mm |
600*450mm |
|
玻璃尺寸 |
245*192mm |
350*250mm |
350*350mm |
450*350mm |
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快速释放装置 |
标准配置 |
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遥控开关 |
RESET（复位）与SEND（发送）按钮位于X手轮附近 |
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数字计数器 |
较小读数 |
可在0.5/0.1μm选择 |
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功能 |
调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出 |
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测量精度 |
（3+0.02L）μmL为测量长度 |
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功耗 |
230W、85～240VAC 50/60HZ |
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主机 |
外型尺寸 |
659*660*744mm |
659*710*744mm |
659*660*744mm |
659*710*744mm |
重量 |
80KG |
110KG |
160KG |
175KG |
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