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HTM系列测量显微镜满足不同种类的测量范围检测,测量数据准确,操作简单,更多详情如下
产品详情
●操作便捷
集中化显微镜操作,调焦手轮、速度控制、遥控开关均可实现单手盲操作,实现大试样高精度快速测量。
●电动Z轴调焦
使用电动调焦装置可以大幅提高操作性,并减少了进行聚焦和高度测量时的操作疲劳。
●稳固的机械机构
充分考虑工业现场环境的结构设计,内置减震机构,保证了高水平的重复性精度。
●高度灵活
模块化的硬件、功能强大的软件方案,自由搭配成像光路、载物台、FA聚焦导航、旋转工作台、晶圆转盘等。
●高密度拼接
使用高密度拼接功能、多幅图像可以拼接扩展为一幅大视野全景图像
◆电动Z轴移动机构通过使用专用的控制器简化了的垂直移动操作。
◆新款合肥测量显微镜可配备一个新型辅助对焦机构,以提供更清晰和更的对焦。相比以前型号,高精度Z轴测量更简便。
◆得益于各种电动控制以及人体工程学设计,极大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的载物台,操作起来也十分得心应手。
◆使用数码相机和 M- Inspect 测量软件进行数字图像拍摄可通过的自动边缘检测进行快速测量。
◆X、Y和Z轴的较小单位可以在 0.1 μm和0.5μm之间切换,此外,还可以在毫米、微米、英寸和密耳之间切换显示单位。
HTM系列合肥测量显微镜配置参数
型号 | HTM150D | HTM200D | HTM300D | HTM400D | |
图像 | 正像/反像 | ||||
观察方法 | 明场、暗场、偏光、微分干涉观察 | ||||
目镜 | 屈光度可调10X(视场数:22mm) | ||||
物镜 | 平场消色差/平场半复消色差系列镜头 | ||||
调焦系统 | 更大被测物高度 | 200mm | |||
电动调焦参数 | 微调:50μm、100μm、400μm /圈可选 点动:100μm /步 粗调:10mm/秒 | ||||
调焦精度 | 较小步距 | 0.1μm | |||
测量重复性 | ±1μm | ||||
照明装置 | 透射照明 | 远心照明、无级亮度可调、5W LED光源 | |||
反射照明 | 科勒照明、可调孔径光阑、无级亮度可调、5W LED光源 | ||||
辅助照明 | FA辅助聚焦、LED环型光源、光纤冷光源 | ||||
载物台 | 测量范围 | 200*150mm | 300*200mm | 300*300mm | 400*300mm |
金属台尺寸 | 400*280mm | 500*350mm | 500*450mm | 600*450mm | |
玻璃尺寸 | 245*192mm | 350*250mm | 350*350mm | 450*350mm | |
快速释放装置 | 标准配置 | ||||
遥控开关 | RESET(复位)与SEND(发送)按钮位于X手轮附近 | ||||
数字计数器 | 较小读数 | 可在0.5/0.1μm选择 | |||
功能 | 调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出 | ||||
测量精度 | (3+0.02L)μm L为测量长度 | ||||
功耗 | 230W、85~240VAC 50/60HZ | ||||
主机 | 外型尺寸 | 659*660*744mm | 659*710*744mm | 659*660*744mm | 659*710*744mm |
重量 | 80KG | 110KG | 160KG | 175KG |
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