晶圆切割3D形貌检测机应用

（1）崩边检测

（2）沟槽深度扫描测量

（3）线条图形扫描宽度提取

（4）测试位置可以自定义

晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据

（1）槽深测量

（2）槽宽测量

（3）四个位置的测量结果

晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结

（1）随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm

（2）测量四个位置自动化所需时间约为2min

槽内干涉条纹图	表面干涉条纹图

样品三维图