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深圳晶圆切割3D形貌检测机
晶圆切割3D形貌检测机，专用行业检测设备，自动化测量，操作便捷。
产品详情
晶圆切割3D形貌检测机应用
（1）崩边检测
（2）沟槽深度扫描测量
（3）线条图形扫描宽度提取
（4）测试位置可以自定义
晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据
（1）槽深测量
（2）槽宽测量
（3）四个位置的测量结果
晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结
（1）随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm，槽深在20.9~25.9μm
（2）测量四个位置自动化所需时间约为2min
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| 槽内干涉条纹图 | 表面干涉条纹图 |
样品三维图
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