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MX8R正置式半导体检查显微镜采用研究级显微镜RX系列的新照明系统和光学系统，照明均匀，成像清晰。
产品详情
MX8R正置式半导体检查显微镜采用突破性的大金相机架设计，可承载8英寸超大工作平台，稳固创新的机械结构更好的满足专业市场需求。
明场观察（透射）
5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光镜，可以透照明下，观察LCD彩色液晶显示屏，器件框架边缘等。
透射照明与反射照明为独立控制，即可同时亮，也可单独亮。
LCD 10X透射光
明场观察（反射）
远心坷拉反射照明系统，配以全新设计的无限远平场消色差长工作距金相物镜，从低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高画质显微图像。
简易偏光观察
将起偏器镜及检偏镜插板插入照明的指定位置，即可进行简易偏光观察。检偏镜可分为固定式和360°旋转式两种。
PCB横截面 20X 偏振光
暗场观察
将暗场照明拉杆拉到指定位置，即可使用暗场功能，可以观察物体表面的各种划痕、杂质点及其他细微缺陷，暗场功能只限于MX8R机型。
FPC 10X 暗场
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上，插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉相衬观察。使用DIC技术，可以使物镜表面微小的高低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。
5X、10X、20X专为DIC设计，使得整个视场的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物镜DIC效果也较好。
半导体检查显微镜 MX8R产品尺寸图
MX8R半导体检查显微镜配置参数
型号 |
MX8R |
光学系统 |
无限远色差校正光学系统 |
观察方式 |
明场/ 暗场/ 偏光/DIC |
观察筒 |
无限远铰链三通观察头，5°~35°倾角可调，倒像，瞳距调节50-76mm, 三档式分光比：50:50 或100:0 或0:100 |
无限远铰链三通观察筒，30°倾斜，正像，瞳距调节: 50-76mm, 分光比100:0 或0:100 |
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无限远铰链三通观察头，30°倾斜，倒像，瞳距调节范围50-76mm，三档式分光比，0 ：100 或20 ：80 或100 ：0 |
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目镜 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划板 |
高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm，视度可调，可带单刻度十字分划板 |
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物镜 |
无限远明暗场半复消金相DIC 物镜 5X、10X、20X、50X（选配：100X） |
无限远长工作距明暗场半复消金相DIC 物镜20X |
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无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X 100X |
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无限远明场半复消金相DIC 物镜 |
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转换器 |
明暗场五孔/ 六孔转换器，带 DIC 插槽 |
明场六孔/ 七孔转换器，带 DIC 插槽 |
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调焦机构 |
反射式机架, 前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程33mm, 微调精度0.001mm. 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置. 内置100-240V 宽电压系统, 带光亮度设定按钮与复位按扭; |
载物台 |
右手位8 英寸三层机械移动平台，低手位X、Y 方向同轴调节；平台面积525mmX330mm，移动范围：210mmX210mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板（反射用） |
右手位6 英寸三层机械移动平台，低手位X、Y 方向同轴调节；平台面积445mmX240mm，移动范围：158mmX158mm ；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动；玻璃载物台板（反射用） |
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照明系统 |
明暗场反射照明器, 带可变孔径光阑，视场光阑, 中心均可调；带明暗场照明切换装置；带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像 |
0.5X/0.65X/1X 摄像接筒，C 型接口，可调焦 |
其他 |
起偏镜插板，固定式检偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板；反射用干涉滤色片组；高精度测微尺；DIC 微分干涉组件 |
选配 |
工业相机：1000万、1500万、2000万，CCD或CMOS相机 |
分析软件：自开发专业测量系统 |
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