反射膜厚仪 HSR-C 技术参数

1、HSR-C 规格：

1) 基本功能：获取薄膜厚度值以及 R、N/K 等光谱

2) 光谱分析范围：380nm-1000nm

3) 测量光斑大小：标准 1.5mm，较小 0.5mm

4) 膜厚重复性测量精度：0.02nm（100nm 硅基 SiO2 样件，100 次重复测量）

5) 膜厚精度：0.2%或 2nm 之间较大者

6) 膜厚测量范围：15nm-70μm

7) 测量 n 和 k 值厚度要求：100nm 以上

8) 单点测量时间：≤ 1s

9) 光源：标准卤灯光源

10) 分析软件：多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；提供多层各向同性光学薄膜建模仿真与分析功能

2、样品台规格：

1) 基板尺寸：更大支持样件尺寸到 150*150mm(可升级定制不同尺寸样品台)

3、测控与分析软件

1) 光谱测量能力：反射率光谱测量

2) 数据分析能力：膜厚分析能力，光学常数（折射率和消光系数）

3) 支持常用光学常数模型以及常用振子模型（柯西模型、洛伦兹模型、高斯模型等）；

4) 支持用户自定义，可授权离线分析软件模拟实际测量，支持 Windows 10 操作系统

4、设备验收标准（按参数规格测试）

1) 光谱分析波段：380~1000nm

2) 测量光斑大小：标准 1.5mm，较小 0.5mm

3) 膜厚重复性测量精度：0.02nm（100nm 硅基 SiO2 样件，100 次重复测量）

4) 膜厚精度：0.2%或 2nm 之间较大者

5) 膜厚测量范围：15nm-70μm

5、测控与分析计算机

1) 操作系统：WIN10 64 位

2) CPU 处理器：Intel 酷睿 I5

3) 内存：≥4G

4) 硬盘：≥500G

5) 显示器：≥19 寸

6、配件

1) 标准 SiO2/Si 标样

2) 标准安装工具一套

7、环境要求

1) 承载台：尺寸>1.0m（长）×0.7m（宽），承载能力大于 20Kg

2) 使用温度范围：20 ~ 26 ℃

3) 相对湿度：35% ~ 60% RH

4) 空气压力范围：750~1014 mbar

5) 洁净度： Class 1000

8、能源要求

1) 供电电源电压：220V AC

2) 正常频率范围：49-51Hz

3) 相电流：有效值小于 0.5A（220V AC）

4) 功率：小于 110 W

9、涂装与表面处理

1) 涂装颜色：以黑白灰色为主

2) 表面处理：镀化学镍、阳极处理、烤漆等