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4寸工作平台半导体检查显微镜采用大行程移动工作平台，长工作距半复消色差物镜，图像锐利清晰，广泛应用于晶圆、FPD等各项工业检测。
产品详情
4寸工作平台半导体检查显微镜
稳重的机架结构设计
工业检测级显微镜镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。
反射照明器
单颗大功率5W白色LED照明，带斜照明机构。切换至斜照明时，可以使物体表面不同材质部分呈现立体图案，增加观察的对比度与视觉效果。
高性能物镜转换器
MX4R转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据需求可配置不同孔位的转换器。
MX4R半导体检查显微镜配置参数
型号 | MX4R（反射） | MX4RT（透反射） |
可选择的观察方法 | 明场/偏振光/DIC | |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 | |
目镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 | |
观察筒 | 30°铰链式三目，分光比，双目：三目=100：0或50:50 | |
物镜 | LMPlan无限远长工作距明场金相物镜5X、10X、20X、50X（选配：2X、100X） | |
转换器 | 5孔内倾式转换器，带DIC插槽 | |
载物台 | 4”双层机械移动平台，行程105x 105mm，右手位X、Y移动手轮，配平台接口 | |
带金属平板平台 | 玻璃工平台 | |
显微镜镜体 | 粗微调同轴、粗调行程33mm，微调精度0.001mm,，带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器， | |
单路电源输出 | 双路电源输出 | |
反射照明器系统 | 带可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心；带滤色片插槽与偏光装置插槽；带斜照明切换拉杆。单颗大功率5W LED，白色或12V100W卤素灯；光强连续可调 | |
透射照明系统 | / | 单颗大功率5W LED，白色，光强连续可调。N.A 0.5聚光镜，带可变孔径光阑 |
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